Keithley 4215-CVU

C-V Multifrequenz-Kapazitätseinheit (CVU)
Häufig werden Kapazitäts-Spannungsmessungen (C-V) zur Charakterisierung der Gate-Oxiddicke , Oxid-Defektdichte, Dotierungsprofile, etc. eines MOSFETs verwendet.
Kapazitätsmessungen werden typischerweise mit einer AC-Technik durchgeführt. Das Multifrequenz-C-V-Modul misst die Impedanz durch Anlegen einer Gleichspannungsvorspannung und Wechselspannung über das zu prüfende Gerät (DUT). Daraufhin werden der resultierende Wechselstrom und Phasenwinkel gemessen.

• AC-Impedanzmessungen (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz Frequenzbereich
• ±30 V (60 V differentiell) eingebaute DC-Vorspannung, erweiterbar bis ±210 V (420 V differentiell) mit SMU-Einheit
• Einfaches Umschalten zwischen I-V und C-V Messungen mit dem optionalen CVIV-Multischalter