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C-V Multifrequenz-Kapazitätseinheit (CVU)
Häufig werden Kapazitäts-Spannungsmessungen (C-V) zur Charakterisierung der Gate-Oxiddicke , Oxid-Defektdichte, Dotierungsprofile, etc. eines MOSFETs verwendet.
Kapazitätsmessungen werden typischerweise mit einer AC-Technik durchgeführt. Das Multifrequenz-C-V-Modul misst die Impedanz durch Anlegen einer Gleichspannungsvorspannung und Wechselspannung über das zu prüfende Gerät (DUT). Daraufhin werden der resultierende Wechselstrom und Phasenwinkel gemessen.
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